Отдел вакуумно-плазменных технологий (ОВПТ) занимается вопросами:

• модификации поверхностей конструкционных материалов путём воздействия на них потоками энергии плазмы и ускоренных нейтральных частиц;
• отработкой формирования плёнок полупроводников и металлов (защитных и коммутационных) на установках «Батискаф», разработанной и созданной в ГНУ «СФТИ АНА» и заводской «Булат».

В будущем планируется заниматься вопросами

• отработки формирования и нанесения плёнок полупроводников и металлов с целью создания плёночного термоэлектрического генератора (ПТЭГ) малой мощности:
• отработкой формирования и нанесени полупроводниковых плёнок толщиной ∆ = (10-100) нм на диэлектрическую основу из лавсана с последующим исследованием их электрических характеристик.